半导体装备

化合物半导体

  以GaN、SiC、GaAs、InP为代表的化合物半导体材料,因其适合制备高速、高频、大功率器件,在5G/6G 通讯、光通讯、新能源汽车等新型产业中有着不可替代的地位。   

  在化合物半导体领域,乐动体育可提供长晶炉、干法刻蚀设备、薄膜设备、炉管设备、清洗设备,为客户提供全面的工艺解决方案。

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