FLOURIS A201 8英寸立式低温退火炉
FLOURIS A201 8 Inch Vertical Low-Temp Anneal Furnace
- 设备特点
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- 工艺温度范围扩展性良好
- 温度恢复性能优良
- 低温控制稳定性好
- 系统可维护性好
- 产品应用
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- 晶圆尺寸8英寸
- 适用材料硅、碳化硅
- 适用工艺氮气退火、合金
- 适用领域集成电路、功率半导体、化合物半导体、硅基微型显示、科研领域