VERIC O6151A SiC高温氧化炉
VERIC O6151A SiC High-Temp Oxidator Furnace
- 设备特点
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- 温度可达1500℃，温区均匀性±1℃
- 膜厚均匀，WIW WTW 和RTR 一致性好
- 石墨电阻加热，工艺腔室洁净
- 自动装片，Cassette to Cassette
- 安全设计，符合CE\SEMI S6 标准
- 产品应用
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- 晶圆尺寸4/6英寸兼容
- 适用材料碳化硅
- 适用工艺干氧氧化 、湿氧、Ar/N₂ 退火、NO/N₂O 退火、H₂ 退火、DCE清洗
- 适用领域化合物半导体、衬底材料、科研领域
