CS230 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS230 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
- 设备特点
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- 采用精确的管式分流技术和新型电磁阀控制技术
- 满足大流量气体产品的控制
- CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电
- 数字,模拟输入输出
- 产品支持RS485,DeviceNet,EtherCAT等主流通讯方式
- 产品应用
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- 流量规格(N₂)50 SLM~300SLM
- 准确度±1.0% S.P. (>35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
- 重复精度±0.2% F.S.
- 响应时间≤ 2 sec