CS100 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS100 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
- 设备特点
-
- 模拟式产品或数字式产品
- ±15V双电源或+24V单电源供电
- 金属密封或橡胶密封
- SEMI标准尺寸产品或紧缩型产品
- 产品应用
-
- 流量规格(N₂)10SCCM~50SLM
- 准确度±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
- 重复精度±0.2% F.S.
- 响应时间≤ 1 sec
