半导体装备 Semiconductor

NVT-HG

单晶生长炉

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NVT-HG 单晶生长炉
NVT-HG Single Crystal Growing Furnace
NVT-HG系列单晶生长炉主于光伏产业8-12英寸单晶硅制备工艺,该机台具有大投料量,高拉速,低能耗,自动化、智能化的优点。能够进行全自动并进行工艺处理。系统主要由籽晶升降/旋转系统,坩埚升降/旋转系统,热屏升降系统,旋阀、真空腔室、辅助功能单元及电控系统组成。
设备特点
  • 单台4 吨以上的月产能,实现单晶硅棒量产
  • 合理的炉体布局,使得炉子能耗同比下降10%
  • 大尺寸的主室为大投料量留下了空间
  • 具备连续加料器装置
产品应用
  • 热场尺寸
    26"
  • 晶体直径
    Φ6"~Φ12"
  • 主室尺寸
    Φ1100×1400mm
  • 副室尺寸
    Φ350×3800mm
  • 加热功率( 主加与副加)
    165KW+65KW
  • 籽晶拉速
    >1.6mm/min
  • 坩埚升速
    0.02~1.0mm/min
  • 适用领域
    新能源光伏
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