HPU Series 预防雾化单元
HPU Series Hazing Prevent Unit
- 设备特点
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- 为曝光设备提供精密的温湿度和超洁净气体，大幅提升良率
- 结构设计符合人机功能学，耗材取换过程简便快捷
- 温湿度和风量调节范围大，多种组合配方满足复杂厂务需求
- 产品应用
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- 湿度控制精度≤±2%RH
- 温度控制精度≤±1℃
- 适用领域主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂的曝光机镜面防止雾化去除吸入曝光机中的酸、碱、VOC和微粒污染物
