Hesper E230A 12英寸单片常压硅外延系统
Hesper E230A 12 Inch Single Wafer Atmospheric Pressure Silicon Epitaxy System
- 设备特点
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- 专业的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能
- 高效传输设计可提高产能
- 单、双、四腔兼容设计，可满足不同客户需求
- 产品应用
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- 晶圆尺寸12英寸
- 沉积材料硅
- 适用工艺N&P常压硅外延
- 适用领域功率半导体、衬底材料、科研领域
