NVT-HG2200-V1 单晶炉
NVT-HG2200-V1 Single Crystal Growing Furnace
- 设备特点
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- 用于8-12英寸太阳能级单晶硅棒的生长
- 多维度安全设计，设备长期运行更加安全稳定可靠
- 全自动控制系统，单晶制备自动化、智能化
- 高拉速、低能耗、低成本
- 技术指标
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- 晶体直径φ6"-φ12"
- 主室尺寸φ1100×1400mm,φ1200×1500mm,φ1400×1650mm,φ1600×1900mm,φ1700×2100mm
- 副室尺寸φ350×3800mm,φ350×4000mm，φ350×5000mm,φ400×5500mm,φ450×7300mm
- 热场尺寸26"，28"，30"，32"，36"，40"，42"
- 加热功率165KW+65KW,165KW+90KW,150+110KW
- 籽晶拉速＞1.6mm/min
- 坩埚升速0.02-1mm/min
