ELEDE® 380F PSS刻蚀机
ELEDE® 380F PSS Etcher
- 设备特点
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- 先进的平面等离子体发生装置，高选择比，更大的工艺窗口
- 良好的侧壁形貌及均匀性控制
- 9 片4 英寸托盘，工艺时间短，大产能
- 专业的工艺套件设计，更长的耗材寿命，更低的CoO
- 产品应用
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- 晶圆尺寸2、4、6 英寸及特殊尺寸
- 适用材料蓝宝石，氧化硅等
- 适用工艺纳米级/图形化PSS刻蚀、复合衬底刻蚀
- 适用领域半导体照明、Mini LED
