SUMERIS AP302C 8/12英寸先进封装立式PI固化炉
SUMERIS AP302C 8/12 Inch AP Vertical Polyimide Cure Furnace
- 设备特点
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- 工艺兼容性好
- 高精度温度场控制技术
- 先进的颗粒控制技术
- 稳定的腔室氧含量控制技术
- 产品应用
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- 晶圆尺寸8/12英寸兼容
- 适用材料硅、玻璃
- 适用工艺PI固化、烘烤去湿等
- 适用领域先进封装
