WS-PE100/150 倒片机
WS-PE100/150 Wafer Sorter
- 设备特点
-
- 晶圆全自动取放
- 人工替代，良好控制颗粒
- 高精度、高柔性六轴机械手，更稳定、更可靠
- 半导体级非接触式伯努利吸盘，吸附均匀，低破率、更安全
- 稼动率高，有效节约客户成本
- 产品应用
-
- 晶圆尺寸4、6 英寸
- 划伤率≤0.03%
- 通讯响应时间＜0.5 秒
- 装卸响应时间≤12 秒
- 适用领域半导体照明
