TCU Series 精密恒温恒湿机
TCU Series Thermal Control Unit
- 设备特点
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- 精密温湿度控制，确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率
- 可根据客户需求风量定制，送风单元结构均匀布置
- 温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，确保产线环境的稳定性及产品的良率
- 产品应用
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- 温度控制精度±0.1℃~±0.01℃
- 湿度控制精度±2%RH~±1%RH
- 适用领域主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制
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